Степень полезного использования испаряемого материала

Степень полезного использования испаряемого материала

Параметром, характеризующим степень полезного использования рабочего объема установок вакуумного напыления (УВН), является отношение F/R, где F — суммарная площадь Поверхности всех одновременно загружаемых в камеру подложек; R — радиус орбитального вращения центров подложкодержателей (в том случае, если они имеют плоскую форму) или радиус сферы (в том случае, если они имеют сферическую или сегментную форму). Параметром, характеризующим степень полезного использования испаряемого материала, является отношение общей массы Материала Шд, сконденсированного на подложках, к массе испаренного материала гпи. В табл. представлено сопоставление по перечисленным параметрам внутрикамерных устройств в виде: 1) сегментных подложкодержателей, имеющих форму сферы Кнудсена с горизонтальной осью орбитального вращения; 2) плоских подложкодержателей с горизонтальной осью орбитального вращения; 3) сегментных подложкодержателей с вертикальной осью орбитального вращения; 4) плоских подложкодержателей с вертикальной осью орбитального вращения; 5) пустотелой сферы [48].

1 Star2 Stars3 Stars4 Stars5 Stars (No Ratings Yet)
Загрузка ... Загрузка ...

One comment to Степень полезного использования испаряемого материала

  • Тимон Фомин  says:

    А есть другой выход?

Оставьте ответ

Вы можете использовать эти HTML теги и атрибуты <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите человечка с поднятой рукой: