Конфигурация тонкопленочных элементов

Конфигурация тонкопленочных элементов

Во-вторых, энергия электронного пучка на несколько порядков превышает энергию Светового излучения, что позволяет производить экспонирование специальных электроночувствительных слоев — электроцорезистов, которые не экспонируются видимым и ультрафиолетовым светом. Третьим важным преимуществом электронного луча является большая глубина фокуса, сочетаемая с высоким разрешением электронно-оптических систем. Так, например, если для лучших объективов, используемых в системах проекционной фотолитографии, с Л/=500 линий/мм глубина фокуса 4 мкм, то для системы проекционной электронолитографии при том же разрешении глубина должна достигать 60 мм. Большая глубина фокуса значительно скйжает многае жесткие требования оптических проекционных систем, связанные с положением и плоскостностью подлож, ки, на которой формируются тонкопленочные элементы. Кроме того, Возможность простого сочленения электронно-лучевой установки с ЭВМ позволяет автоматически управлять интенсивностью с отклонением электронного пучка, а следовательно, получать любые по форме Конфигурации тонкопленочных Элементов. Краме того, возможность простого сочленения электронно-лучевой установки с ЭВМ позволяет автоматически управлять интенсивностью с отклонением электронного пучка, а следовательно, получать любые по форме конфигурации тонкопленочных элементов.

1 Star2 Stars3 Stars4 Stars5 Stars (No Ratings Yet)
Загрузка ... Загрузка ...

One comment to Конфигурация тонкопленочных элементов

  • Аникита Константинов  says:

    Под сказку сна к вам в дом войдет

Оставьте ответ

Вы можете использовать эти HTML теги и атрибуты <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите человечка с поднятой рукой: