Изготовление тонкопленочных конденсаторов

Изготовление тонкопленочных конденсаторов

В зависимости от природы испаряемого Материала и энергии первичного пучка мощность, теряемая за счет вторичных электронов, может достигать 25% мощности первичного пучка, а энергетический спектр вторичных электронов может составлять от нескольких электронвольт до энергии первичного пучка. Бомбардировка вторичными электронами подложек, технологической оснастки и стенок рабочего объема установки вызывает интенсивный процесс возбуждения и ионизации адсорбированных молекул остаточного газа, следствием чего могут быть их десорбция и интенсивное газовыделение. Интенсивная электронно-ионная бомбардировка осаждаемой пленки вызывает ее дополнительный нагрев и ряд других побочных явлений. Так, например, бомбардировка пленки диэлектрика быстрыми электронами и попадание на нее рентгеновского излучения вызывают появление на пленке отрицательного электростатического заряда, который может изменить условия конденсации молекул, вызвать в пленке механические напряжения, а при изготовлении Тонкопленочных конденсаторов быть причиной микропробоев на нижнюю металлическую обкладку.

1 Star2 Stars3 Stars4 Stars5 Stars (No Ratings Yet)
Загрузка ... Загрузка ...

Оставьте ответ

Вы можете использовать эти HTML теги и атрибуты <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите человечка с поднятой рукой: